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半導体製造装置において使用する弱電離、非平衡プラズマに的を絞り、プラズマとプラズマ・プロセスに関する解析方法を基礎から応用に至るまで解説しています。 単調な説明ではなく、プラズマ・プロセスについて原理から解析までを系統的に理解できるように工夫されています。 さらに得られた解析結果をどのように適用してゆけばよいかを多くの例題を用いて提示しており、半導体製造装置に代表されるプラズマ応用装置を研究、開発、設計するすべての技術者にとっても恰好の手引書となっています。
| 產品 # | 462108223X |
|---|---|
| 重量 | 1279 g |
| 商品包裝尺寸 | 26 x 18 x 3 cm |
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